工程潔凈室的溫度和濕度主要根據(jù)你的加工要求來(lái)決定。在滿足加工要求的情況下，首先要考慮人的舒適性。隨著對(duì)空氣潔凈度的要求，對(duì)工藝過(guò)程中的溫濕度要求越來(lái)越高，達(dá)到一定的溫濕度。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，要求作為掩膜材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)差異越來(lái)越小。直徑為100um的硅片，溫度上升1度會(huì)有0.24um的線膨脹，所以恒溫0.1度，濕度值要求低到那個(gè)程度，因?yàn)槿顺龊购?，產(chǎn)品會(huì)被污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這個(gè)車間不能超過(guò)25度。

濕度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致更多問(wèn)題。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管管壁會(huì)發(fā)生結(jié)露，如果發(fā)生在精密器件或電路中，會(huì)引發(fā)各種事故。相對(duì)濕度50%時(shí)容易生銹。凈化工程中控制溫濕度的具體措施有哪些?

但對(duì)于大多數(shù)潔凈空間，為了防止外界污染的入侵，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的保持應(yīng)遵循以下原則：

1.高潔凈度空間的壓力高于相鄰低潔凈度空間的壓力。

2.相互連通的潔凈室之間的門應(yīng)向潔凈度低的房間敞開(kāi)。

3.潔凈空間的壓力高于不潔凈空間的壓力。

壓差是由新風(fēng)量來(lái)維持的，新風(fēng)量可以補(bǔ)償這個(gè)壓差下從縫隙中漏出的風(fēng)量。因此，壓差的物理意義是泄漏(或滲透)氣流通過(guò)潔凈室各種縫隙的阻力。

對(duì)于湍流潔凈室，由于它主要依靠空氣的稀釋來(lái)減少室內(nèi)污染，所以主要采用換氣次數(shù)的概念而不是直接采用速度的概念，但室內(nèi)氣流速度也有以下要求：

1.送風(fēng)口出口處的風(fēng)速不能太高。與簡(jiǎn)單的空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角更大。

2.空氣流過(guò)水平面的速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不宜過(guò)高，以免將表面顆粒吹回到氣流中，造成二次污染。這個(gè)速度不應(yīng)該高達(dá)0.2m/s。